编写国产CMP设备自立自强“芯”华章

产品概述：

 

  中国日报11月10日电（记者 赵磊）走进客户的出产车间，一排排带有烁科配备logo的化学机械抛光（CMP）设备规整摆放，纵横有序，在机器轰鸣声中一片片中国芯应运而生……

  化学机械抛光（CMP）设备是集成电路制作七大要害设备之一，用于平整化工艺及铜互联工艺。在国家“极大规划集成电路制作配备及成套工艺”科技严重专项的支持下，中电科电子配备集团有限公司所属北京烁科精微电子配备有限公司于2017年成功研发出我国首台具有彻底自主知识产权的200毫米CMP设备，实现从0到1的打破。尔后，烁科精微全力专心于推进国产CMP设备自立自强，向着300毫米的方针冲刺。

  为保证使命完结，公司组建了一只敢打硬仗能打胜仗的年青“尖刀力气”，他们的作业没有“歇息日”，只需进行时；他们为了高端集成电路要害设备自立自强而霸占重重难关；他们有着配备报国的愿望，有着强芯强国的方针，更有着千磨万击还坚劲的精力……

  300毫米 CMP设备攻坚团队建立之初，便充沛吸收200毫米 CMP设备研发成功的经历，以市场需求为导向，打造“双总师”联合攻关系统。

  因为客户将设备验证放到了真实的出产环节，这对团队来说是个极大的检测，不只需求出示质量过硬的设备，还需求进步团队的快速呼应才能，保证及时快速地处理呈现的毛病。所以，团队定下“保证24小时无间断供给技能保证”的作业原则，不管何时何地，只需值勤电话的铃音响起，成员都要在20分钟内抵达现场。

  “客户的需求永远是第一位的，24小时保证不单单是说说罢了。”某次客户端一个机台的robot毛病了，其时线上积压了很多的wafer需求赶快加工，时刻紧迫，团队驻厂成员快速呼应，与公司紧迫联络分配新的robot到客户端，货届时已值深夜，歇息的成员传闻机台出问题后马上赶了过来，咱们齐心协力，一起想办法，做工装，拟定拆装方案，历经6个小时严重的作业，总算成功安装了这个又粗笨又软弱的咱们伙。看着机台又顺畅地作业起来，每个人疲乏的脸上却笑容满面，等咱们出了工厂回住处时，东方现已亮起了鱼肚白。

  “从零开始，逐项攻坚，咱们一直信任天道酬勤。”300毫米 CMP设备攻坚团队一步步摸着石头过河，潜心研究，步步攀爬，终究顺畅完结了首台样机的研发、规划、安装和联机调试。

  团队技能专家未处理一个难题，白天和客户开会拟定试验方案，晚进步净化间通宵测验；机、电、软件的搭档未处理现场问题顶风冒雪赶到现场，和现场人员一起排查；出产和供应链的搭档不管在歇息或许假期，只需现场有需求，第一时刻和谐零件发货；为了能长时刻的坚持作业状况，成员在进FAB前连水都不肯多喝一口，只为在里面呆的更久一点……一切搭档使出浑身解数，提高服务水平和质量，全方位做好服务保证作业。

  经过长时刻的尽力，团队迎来了客户端产线验证要害节点。这项作业需求长时刻出差，作业强度高、环境差。党员同志纷繁自动要求加入产线验证的部队中，带着咱们的期盼与设备一起飞往南边客户端现场，进行下一步样机的客户端验证和继续改善。在客户现场，他们经过重复多角度理论剖析，千余次试验验证，协同工艺、机械、电气、软件、研发等部分进行了120余项CIP继续改善项目，终究使各项要害目标顺畅到达客户工艺技能要求。现在，首台300毫米CMP设备在28nm世界主流产线做验证，各项要害技能目标均到达28nm工艺技能方面的要求，并为客户奉献流片超3万片。第二台300毫米CMP设备顺畅进入客户产线进行工艺验证，产品功能得到不断完善。

  五年时刻，烁科精微完结富丽脱变，自主研发的CMP设备由一开始入驻时的被周围进口设备环伺，渐渐的变成与进口设备平起平坐，到现在的彻底自主代替、别出心裁，成功占有国内市场重要比例，到本年已出货超百台，先后荣获客户“最佳供货商”、集成电路工业联盟“优异供货商”等称谓。

  巨大出自普通，工作成于实干。“不只让产品国产化，更要世界化，做到世界抢先。”未来，300毫米 CMP设备攻坚团队将继续饯别“开展国产配备，铸就国芯柱石”的职责担任，在高端制作范畴继续斗争、敢为人先，为高端配备工业化奉献力气。